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第三代半导体
晶盛机电:首条12英寸碳化硅衬底加工中试线正式通线
2025/9/26 11:21:45
【晶盛机电:首条12英寸碳化硅衬底加工中试线正式通线】9月26日电,据晶盛机电官微消息,9月26日,首条12英寸碳化硅衬底加工中试线在晶盛机电子公司浙江晶瑞SuperSiC正式通线,至此,浙江晶瑞SuperSiC实现了从晶体生长、加工到检测环节的全线设备自主研发,100%国产化。
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